光氧一体等离子废气净化器低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。

等离子光氧催化一体机UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，臭氧对有机物有很强的氧化作用，对工业废气和其他刺激性异味有很快的去除效果。工业废气利用排气设备输入本净化设备后，净化设备利用高能源UV紫外光束和臭氧协同分解工业废气氧化反应，将工业废气物质分解成低分子化合物、水和二氧化碳，通过排气管道排出室外。

等离子废气净化器设备降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。

喷漆房等离子废气净化设备利用制的能臭氧UV紫外线光束照射有机气体及空气中的氧分子，裂解有机气体的分子键，并分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。游离状态的分子与臭氧氧化结合成小分子无害或害的化合物，如CO2、H2O等。从而达到净化气体的效果。

等离子废气净化器风阻小，安装简便，可根据客户现场环境要求分组制造，方便运输及安装。设备结构紧凑，投资低，操作方便。